Imprimir
Mapa do Site

Laboratório de Filmes Finos
Marco Cremona

O Laboratório localizado na sala 550L é utilizado para a produção de materiais em forma de filmes finos e para a fabricação dos diversos dispositivos optoeletrônicos. A infra-estrutura do laboratório conta com:


  • Sala limpa para deposição de filmes finos;
  • Capela para manuseio de solventes e compostos químicos em geral;
  • Evaporadora Leybold mod. UNIVEX 300 equipada para deposição térmica resistiva de filmes finos, com controle de espessura automático e controle de temperatura;
  • Evaporadora Leybold mod. UNIVEX 450 equipada para deposição por feixe de elétrons (e-beam) e por erosão catódica (sputtering) com controle de espessura automático e controle de temperatura;
  • Equipamento de spin-coating para deposição de filmes, limpeza de substratos e fotolitografia;
  • Glow-blox com atmosfera controlada para manuseio das amostras produzidas;
  • Ultra-som para limpeza;
  • Estufa dessecadora;
  • Equipamento para produção de água destilada;
  • Balança de precisão;
  • Foto-alinhadora para fotolitografia;

 

< Voltar

vv